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西北首條硅光中試線正式通線

   2025-11-18 中國科學報記者李媛510
核心提示:陜西光電子先導院建設的西北地區首條8英寸硅光中試平臺正式通線,總投資7.5億元,配備60余臺核心設備,旨在解決國內光子產業中試資源緊缺、海外流片成本高周期長等痛點。該平臺已服務百余家初創企業,可將研發流片效率提升5倍以上,并推動形成“材料-芯片-應用”產業生態集聚。

日前,陜西光電子先導院宣布其建設的8英寸先進硅光集成技術創新平臺正式通線,成為西北地區首條硅光中試線,將為國內光子產業各類創新主體提供多種類型光電、硅光芯片的研發和中試服務。

“硅光技術是人工智能算力、智能駕駛、量子通信等前沿領域的核心支撐,正處于技術突破與應用落地的關鍵期,但產業發展長期受限于中試資源集中的困境。”陜西光電子先導院總經理楊軍紅說,全球硅光中試資源大多掌握在歐美企業手中,國內企業依托國外平臺流片要支付高昂的費用,且面臨流片周期長、產能優先供給受限等問題。自建產線則要巨額投入,這讓中小企業和科研團隊望而卻步。

2023年,陜西光電子先導院總投資7.5億元啟動建設8英寸先進硅光集成技術平臺,并引入光刻、刻蝕、離子注入、介質填充、金屬化等60多臺(套)關鍵核心設備,構建起自主可控的先進工藝體系。

目前,陜西光電子先導院已解決100余家初創企業“研發難、流片難”的問題。此次硅光中試線的啟用,更被視為向“高質量集群發展”邁進的關鍵落子——通過中試能力的完善,陜西將進一步吸引產業鏈上下游企業集聚,加速形成“材料-芯片-應用”的產業閉環。

“海外代工廠滿足不了企業研發階段的高度定制化需求,但在陜西進行中試,排隊時間短、效率高,速度比在國外快5倍以上。”深圳瑞識智能科技有限公司董事長汪洋說。

“未來,平臺將大幅縮短光電、硅光客戶的流片周期和降低研發成本。”楊軍紅說,目前平臺已經與十多家頭部企業達成意向合作協議,并吸引了多家外地企業集聚陜西。


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